ITTERBIY KIRISHMASI KREMNIY HAJMIDA HOSIL QILADIGAN NANOO’LCHAMLI NUQSONLI MARKAZLARNING KUYISH KINETIKASI
;
Elektronika va mikroelektronikaning asosiy materiali bо‘lgan kremniy yarimо‘tkazgichi asosida tayyorlanadigan turli asbob va qurilmalarda strukturalarni tayyorlashda xosil bо‘ladigan nuqsonlarning tabiatini, turlarini va turli jarayonlarda о‘zgarishini bilish zarur.Abstrak
Issiqlik ta’sirlarida barqaror va turli radiatsiyaga chidamli yangi yarimо‘tkazgich materiallar izlash bilan bog‘liq holda keyingi vaqtda kremniyda Yerda kam tarqalgan –nodir yer elementlarni (NEE) holatini о‘rganishga qiziqish ancha oshdi. Dunyoda bugungi kunda monokristalli kremniyda nuqson hosil boʼlish jarayonlarini oʼrganish, xususan, quyidagi sohalarda ilmiy-tadqiqotlarni amalga oshirish muhim vazifa hisoblanadi: qiyin eruvchi elementlar (QEE) kirishmalari bilan legirlangan kremniyga turli omillar taʼsirida nuqsonlar markazi shakllanishini tadqiq qilish; texnologik kirishma-larning qiyin eruvchi kirishmali kremniyda chuqur markazlar hosil boʼlish mexanizmlariga taʼsirini oʼrganish.
Iqtiboslar
Fistul V.I. Atomi legiruyushix primesey v poluprovodnikax. M., Fizmatlit, 2004 g., 432 s.
Milns L. Primesi s glubokimi urovnyami v poluprovodnikax. – M., Mir, 1977, 547 s.
Milvidskiy M.G., Osvenskiy V.B. Strukturniye defekti v monokristallax poluprovodnikov. M., Metallurgiya, 1984, 256 s.
K.Reyvi. Defekti i primesi v poluprovodnikovom kremnii. Per. s angl.-M., Mir, 1984, 474 s.
Burguen J. Lanno M. Tochechniye defekti v poluprovodnikax. TeoriY. M., Mir, 1984, 264 s.
Potemkin A.Y., Satsevich I.YE. Vliyaniye termicheskoy obrabotki na fizicheskiye svoystva kremniY. M.: ONTI, GIREDMET, S. 1962. 132.
