МЕХАНИЗМ ОБРАЗОВАНИЯ КЛАСТЕРОВ ПРИМЕСНЫХ АТОМОВ НИКЕЛЯ И ФОСФОРА
Keywords:
Кремний, фотоэлемент, легирование никелем, электростатическая силовая микроскопия, диффузия, термоотжиг, кластер.Abstract
В этой работе показана результаты исследовании кремниевой пластины в которую внедрены примесные атомы никеля и фосфора методом диффузионного легирования. Исследование методом Ван дер Пау показал, что удельное сопротивление образцов ρ=0,14 Ω·cm, концентрация дырок np=9·1017/cm-3, подвижность µp=51 cm2/v·s. Топографические снимки электростатической силовой микроскопии показали, что на поверхности пластины наблюдается нанокластеры примесных атомов размером от 50 до 500 нм.
References
Investigation of crystalline silicon solar cells at the nano-scale using scanning probe microscopy techniques. Micro and nanotechnologies/Microelectronics. Université Paris Saclay (COmUE), 2016. English.
Hosung Seo, Dan Goo, and Gordon Jung Park Systems Corp., Suwon, Korea, How to obtain sample potential data for KPFM measurement, Park Atomic Force Microscopy Application note #18.
Hai-Tong Sun, Zheng-Hao Li, Jing Zhou, You-Yuan Zhao, Ming Lu, An electrostatic force microscope study of Si nanostructures on Si(100) as a function of post-annealing temperature and time, Applied Surface Science, Volume 253, Issue 14, 2007, Pages 6109-6112, ISSN 0169-4332, https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2007.01.012.
Paul Narchi, Gennaro Picardi, R. Cariou, Martin Foldyna, Patricia Prod'homme, Pere Cabarrocas. (2015). Kelvin Probe Force Microscopy Study of Electric Field Homogeneity in Epitaxial Silicon Solar Cells Cross-Section. 10.4229/EUPVSEC20152015-3BO.6.1.
